特材真空腔体_涩涩综合_哈氏合金/99一区二区三区/镍基合金/成人黄色电影在线观看/纯镍腔体-无锡国德机械制造有限公司

       哈氏合金腔體是用哈氏合金材料制成的真空腔體，是為減少半導體應用中真空腔的個數(shù)而研發(fā)的，而晶圓容量幾乎不變。這種結構采用了配備有壓差真空凹槽的預置空氣軸承的移動真空。產(chǎn)品的特點有改善的機臺定位的靜態(tài)、動態(tài)響應，抽氣時間、穩(wěn)定時間縮短等等。